微波技術的應用

微波電漿體技術半導體生產工藝中已經採用微波電漿體技術，進行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化矽片。

微波是指頻率為300MHz-300GHz的電磁波，是無線電波中一個有限頻帶的簡稱，即波長在0.1毫米~1米之間的電磁波。微波頻率比一般的無線電波頻率高，通常也稱為“超高頻電磁波”。微波作為一種電磁波也具有波粒二象性。微波的基本性質通常呈現為穿透、反射、吸收三個特性。對於玻璃、塑料和瓷器，微波幾乎是穿越而不被吸收。對於水和食物等就會吸收微波而使自身發熱。而對金屬類東西，則會反射微波。

由於微波的特性，其在空氣中傳播損耗很大，傳輸距離短，但機動性好，工作頻寬大，除了應用於5G行動通訊的毫米波技術之外，微波傳輸多在金屬波導和介質波導中。微波的頻率在300MHz-3000GHz之間，波長在0.1mm到1米之間，是分米波、釐米波、毫米波與亞毫米波的統稱。微波頻率比一般的無線電波頻率高，通常也稱為“超高頻無線電波”。微波作為一種電磁波也具有波粒二象性。微波量子的能量為1 99×l0 -25～ 1．99×10-21焦耳。