如何改善單極式極距型電容感測器的非線性

改善單極式極距型電容感測器的非線性的方法是將結構設計成差動形式，也就是在兩個固定極板之間插入動極板，動極板與兩邊固定極板構成兩個互為差動的電容。其中一個電容增加多少，另一個電容就減少多少。

電容感測器是指將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉換成電容量變化的一種感測器。實際上，它本身（或和被測物體）就是一個可變電容器。電容感測器可以直接測量的非電量為：直線位移、角位移及介質的幾何尺寸（或稱物位），直線位移及角位移可以是靜態的，也可以是動態的，例如是直線振動及角振動。用於上述三類非電引數變換測量的變換器一般說來原理比較簡單，無需再作任何預變換。

用來測量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的感測器，往往採用單極式變間隙電容感測器，使用時常將被測物作為感測器的一個極板，而另一個電極板在感測器內。近年來已採用這種方法測量油膜等物質的厚度。這類感測器的動態範圍均比較小，約為十分之幾毫米左右，而靈敏度則在很大程度上取決於選材、結構的合理性及寄生引數影響的消除。精度達到0.1μm，分辨力為0.025μm。可以實現非接觸測量，它加給被測物件的力極小，可忽略不計。