硅片的清洗方法
- 生活小竅門
- 關注:5K次
1、首先去除硅片表面的有機沾污,因爲有機物會遮蓋部分硅片表面,從而使氧化膜和與之相關的沾污難以去除;
2、然後溶解氧化膜,因爲氧化層是“沾污陷阱”,也會引入外延缺陷;最後再去除顆粒、金屬等沾污,同時使硅片表面鈍化。
- 文章版權屬於文章作者所有,轉載請註明 https://shqsg.com/zh-hant/xiaoqiaomen/nnwx4x.html
1、首先去除硅片表面的有機沾污,因爲有機物會遮蓋部分硅片表面,從而使氧化膜和與之相關的沾污難以去除;
2、然後溶解氧化膜,因爲氧化層是“沾污陷阱”,也會引入外延缺陷;最後再去除顆粒、金屬等沾污,同時使硅片表面鈍化。